填补空白！ EUV光刻胶标准项目立项，技术突破喜
时间：2025-10-27 11:16 作者：365bet登录
我国首个EUV光刻胶标准项目立项。据国家标准委网站消息，我国首个EUV光刻胶标准——《极紫外（EUV）光刻胶测试方法》作为立项标准，将于10月23日公布，截止日期为11月22日。该标准起草单位包括上海大学、张江国家实验室、上海集成电路制造有限公司、微电子装备（集团）有限公司。
作为我国首个光刻胶标准，具有重要的现实意义。该标准的制定不仅将填补国内该领域技术标准的空白，而且为建立一体化的测试体系，为评价国内外EUV光刻胶的性能提供客观依据。具体来说，该标准实施后，将实现三个主要目标：一是建立测试数据互认。ATA，降低晶圆厂进口国产材料的风险；二是推动检测设备国产化更新换代，有效降低研发成本。三是加快产业从“进口引进”向“自主可控”转变。该标准的制定，为我国EUV光刻胶关键技术的突破提供标准支撑，推动国内高端光刻胶产业高质量可持续发展，提升我国在全球半导体材料领域的话语权和竞争力。定位率为0。EUV光刻胶是极紫外光刻的关键材料，工作波长为13.5nm。主要用于7nm及以下工艺的集成电路生产。是实现先进逻辑芯片、高端存储芯片等小型化、高性能芯片生产不可缺少的材料。目前，作为全球半导体产业加速向先进工艺演进，EUV光刻技术成为7纳米及以下节点唯一量产解决方案。然而，EUV光刻胶已被国外先进半导体材料公司（JSR、东京安佳等）完全垄断。目前，国内在EUV光刻胶测试领域尚未建立统一的技术规范，现有的测试方法大多遵循国外公司的标准，导致灵敏度（E0）、线条粗糙度（LER）等基本性能指标的测试过程缺乏标准化。这不 不仅使得国产材料的验证周期长达1至2年，也严重抑制了我国光刻胶行业的自主创新和发展。标准的统一可以明确光刻胶不同性能的最低要求和测试方法，确保不同批次、不同供应商的光刻胶可以稳定适配EUV光刻机，避免材料波动造成的芯片图形缺陷。同时，降低了芯片制造企业的合规测试成本，降低了因材料不兼容而导致运营中断的风险，提高了先进工艺芯片的良率。技术不断取得突破。作为半导体制造的关键材料，光刻胶国产化受到政策的高度重视。 《原材料工业发展“十四五”规划》将光刻胶列为新材料突破的重点品类。近期，EUV光刻胶的基础研究不断取得突破。北京大学、南开大学、华东理工大学、清华大学等都开展了相关研究。结果出来了。根据 Science 和 Te科技日报讯，近日，北京大学化学与分子工程学院彭海林教授团队及其合作者利用冷冻电子断层扫描技术研究光刻胶分子缺陷的微观三维环境、界面分布和行为行为。 10月16日，南开大学现代光学研究所宣布，其研究团队在氧化钛簇光刻材料领域取得重要进展，成功实现了原本光刻惰性的氧化钛团簇的纳米图形化应用，最终制备出了12.9纳米高分辨率氧化钛基EUV负图。光刻胶。 9月19日，华东理工大学宣布，学校在先进光刻胶薄膜去除与制备方面取得进展。这提出了一种制备非晶态沸石的方法采用间歇式旋涂化学液体沉积方法制备了咪唑骨架（AZIF）薄膜，实现了薄膜去除速率和厚度的可控，并通过电子束光刻和超紫外光刻进行了验证。 7月28日，清华大学宣布，化学系徐华平教授团队在极紫外（EUV）光刻材料方面取得重要进展，开发出基于聚碲烷的新型光刻胶，为先进半导体制造关键材料提供了新的设计途径。对于概念股表现较好的上市公司来说，不少公司已经开始了EUV光刻胶的研究。上海新阳于2023年公布了“一种EUV光刻胶及其制备和应用的方法”专利。公司在2024年年度业绩说明会上表示，EUV光刻胶是公司光刻胶布局研发的重要方向之一，它正处于研究和开发的早期阶段。瑞联新材在投资者关系平台上表示，公司EUV光刻胶单体产品中试批次已通过客户验证，已销售数百公斤。久日新材在投资者关系平台上表示，公司开发光酸产生剂产品，作为KRF、ARF、EUV光刻胶所需的原材料。 A股中，光刻胶相关股票有20余只。 10月26日，6家公司发布三季报数据，业绩表现不俗。晶瑞电气前三季度归属于母公司净利润1.28亿元，同比增长逾192倍。公司表示，这主要是由于产品毛利增加和金融资产价格波动所致。九日新材前三季度归属于母公司净利润271.98万元，全年亏损。公司表示，报告期内，继续对部分光引发剂产品实施提价策略。前三季度，艾森归属母公司净利润3448万元，同比增长44.7%。报告期内，公司下游终端需求持续增长，公司营业收入同比增长。瑞联新材、鼎隆新材预计前三季度净利润将增长，康达新材预计将扭亏为盈。对于预增原因，瑞联新材表示，报告期内显示材料板块保持稳步进展，为公司整体业绩提供了坚实基础；鼎龙股份表示，CMP抛光垫、CMP抛光液、清洗液三大新业务板块，报告期内半导体显示材料高速增长；康达新材料表示，报告期内新材料板块粘合剂及特种树脂总销量稳步增长。从研究机构数量来看，年内有11只概念股被13家及以上机构调研，其中飞凯材料、广信材料、八亿时空、艾森控股等个股研究机构位居榜首。
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主编：钟启明_nf5619
我国首个EUV光刻胶标准项目立项。据国家标准委网站消息，我国首个EUV光刻胶标准——《极紫外（EUV）光刻胶测试方法》作为立项标准，将于10月23日公布，截止日期为11月22日。该标准起草单位包括上海大学、张江国家实验室、上海集成电路制造有限公司、微电子装备（集团）有限公司。
作为我国首个光刻胶标准，具有重要的现实意义。该标准的制定不仅将填补国内该领域技术标准的空白，而且为建立一体化的测试体系，为评价国内外EUV光刻胶的性能提供客观依据。具体来说，该标准实施后，将实现三个主要目标：一是建立测试数据互认。ATA，降低晶圆厂进口国产材料的风险；二是推动检测设备国产化更新换代，有效降低研发成本。三是加快产业从“进口引进”向“自主可控”转变。该标准的制定，为我国EUV光刻胶关键技术的突破提供标准支撑，推动国内高端光刻胶产业高质量可持续发展，提升我国在全球半导体材料领域的话语权和竞争力。定位率为0。EUV光刻胶是极紫外光刻的关键材料，工作波长为13.5nm。主要用于7nm及以下工艺的集成电路生产。是实现先进逻辑芯片、高端存储芯片等小型化、高性能芯片生产不可缺少的材料。目前，作为全球半导体产业加速向先进工艺演进，EUV光刻技术成为7纳米及以下节点唯一量产解决方案。然而，EUV光刻胶已被国外先进半导体材料公司（JSR、东京安佳等）完全垄断。目前，国内在EUV光刻胶测试领域尚未建立统一的技术规范，现有的测试方法大多遵循国外公司的标准，导致灵敏度（E0）、线条粗糙度（LER）等基本性能指标的测试过程缺乏标准化。这不 不仅使得国产材料的验证周期长达1至2年，也严重抑制了我国光刻胶行业的自主创新和发展。标准的统一可以明确光刻胶不同性能的最低要求和测试方法，确保不同批次、不同供应商的光刻胶可以稳定适配EUV光刻机，避免材料波动造成的芯片图形缺陷。同时，降低了芯片制造企业的合规测试成本，降低了因材料不兼容而导致运营中断的风险，提高了先进工艺芯片的良率。技术不断取得突破。作为半导体制造的关键材料，光刻胶国产化受到政策的高度重视。 《原材料工业发展“十四五”规划》将光刻胶列为新材料突破的重点品类。近期，EUV光刻胶的基础研究不断取得突破。北京大学、南开大学、华东理工大学、清华大学等都开展了相关研究。结果出来了。根据 Science 和 Te科技日报讯，近日，北京大学化学与分子工程学院彭海林教授团队及其合作者利用冷冻电子断层扫描技术研究光刻胶分子缺陷的微观三维环境、界面分布和行为行为。 10月16日，南开大学现代光学研究所宣布，其研究团队在氧化钛簇光刻材料领域取得重要进展，成功实现了原本光刻惰性的氧化钛团簇的纳米图形化应用，最终制备出了12.9纳米高分辨率氧化钛基EUV负图。光刻胶。 9月19日，华东理工大学宣布，学校在先进光刻胶薄膜去除与制备方面取得进展。这提出了一种制备非晶态沸石的方法采用间歇式旋涂化学液体沉积方法制备了咪唑骨架（AZIF）薄膜，实现了薄膜去除速率和厚度的可控，并通过电子束光刻和超紫外光刻进行了验证。 7月28日，清华大学宣布，化学系徐华平教授团队在极紫外（EUV）光刻材料方面取得重要进展，开发出基于聚碲烷的新型光刻胶，为先进半导体制造关键材料提供了新的设计途径。对于概念股表现较好的上市公司来说，不少公司已经开始了EUV光刻胶的研究。上海新阳于2023年公布了“一种EUV光刻胶及其制备和应用的方法”专利。公司在2024年年度业绩说明会上表示，EUV光刻胶是公司光刻胶布局研发的重要方向之一，它正处于研究和开发的早期阶段。瑞联新材在投资者关系平台上表示，公司EUV光刻胶单体产品中试批次已通过客户验证，已销售数百公斤。久日新材在投资者关系平台上表示，公司开发光酸产生剂产品，作为KRF、ARF、EUV光刻胶所需的原材料。 A股中，光刻胶相关股票有20余只。 10月26日，6家公司发布三季报数据，业绩表现不俗。晶瑞电气前三季度归属于母公司净利润1.28亿元，同比增长逾192倍。公司表示，这主要是由于产品毛利增加和金融资产价格波动所致。九日新材前三季度归属于母公司净利润271.98万元，全年亏损。公司表示，报告期内，继续对部分光引发剂产品实施提价策略。前三季度，艾森归属母公司净利润3448万元，同比增长44.7%。报告期内，公司下游终端需求持续增长，公司营业收入同比增长。瑞联新材、鼎隆新材预计前三季度净利润将增长，康达新材预计将扭亏为盈。对于预增原因，瑞联新材表示，报告期内显示材料板块保持稳步进展，为公司整体业绩提供了坚实基础；鼎龙股份表示，CMP抛光垫、CMP抛光液、清洗液三大新业务板块，报告期内半导体显示材料高速增长；康达新材料表示，报告期内新材料板块粘合剂及特种树脂总销量稳步增长。从研究机构数量来看，年内有11只概念股被13家及以上机构调研，其中飞凯材料、广信材料、八亿时空、艾森控股等个股研究机构位居榜首。
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主编：钟启明_nf5619 
